换能器及其制造方法2023
- 申请专利号:CN202210625445.3
- 公开(公告)日:2023-09-29
- 公开(公告)号:CN114932066A
- 申请人:友达光电股份有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114932066 A (43)申请公布日 2022.08.23 (21)申请号 202210625445.3 (22)申请日 2022.06.02 (30)优先权数据 111103885 2022.01.28 TW (71)申请人 友达光电股份有限公司 地址 中国台湾新竹市 (72)发明人 邱品翔 黄泰翔 丘炜茹 陈政翰 (74)专利代理机构 隆天知识产权代理有限公司 72003 专利代理师 黄艳 (51)Int.Cl. B06B 1/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图8页 (54)发明名称 换能器及其制造方法 (57)摘要 一种换能器及其制造方法,换能器包括基 板、设置于基板上的下电极、设置于下电极上的 绝缘层、设置于绝缘层上的牺牲图案、设置于牺 牲图案上的振荡膜。振荡膜具有多个贯孔。在换 能器的俯视图中,振荡膜的多个贯孔分别位于牺 牲图案的不同的多侧。多个上电极设置于振荡膜 上。封装层包括多个封止部。多个封止部分别设 置于振荡膜的多个贯孔中,且延伸至绝缘层。振 荡膜、封装层的多个封止部、牺牲图案及绝缘层 定义多个子空腔,且牺牲图案分隔多个子空腔。 A 6 6 0 2 3 9 4 1 1 N C CN 114932066 A 权 利 要 求 书 1/2页 1.一种换能器,包括:
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