掩膜板组件及蒸镀设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116162896 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202310194805.3 (22)申请日 2023.02.27 (71)申请人 合肥鑫晟光电科技有限公司 地址 230012 安徽省合肥市新站区工业园 内 申请人 京东方科技集团股份有限公司 (72)发明人 李如　杨凯　潘晟恺　乔永康　 徐阳　 (74)专利代理机构 北京市立方律师事务所 11330 专利代理师 王存霞 (51)Int.Cl. C23C 14/04 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图4页 (54)发明名称 掩膜板组件及蒸镀设备 (57)摘要 本申请实施例提供了一种掩膜板组件及蒸 镀设备。该掩膜板组件包括：框架；掩膜条，设置 在框架上，并位于框架朝向待蒸镀基板的一侧， 掩膜条具有第一开口，第一开口在待蒸镀基板上 的正投影与待蒸镀基板的待蒸镀区域重合；掩膜 托盘，设置在框架上，并位于掩膜条朝向蒸镀源 的一侧，掩膜托盘遮挡至少部分掩膜条，掩膜托 盘具有第二开口，第二开口在待蒸镀基板上的正 投影覆盖第一开口在待蒸镀基板上的正投影；其 中：掩膜托盘至少朝向蒸镀源一侧的表面粗糙度 大于掩膜条的表面粗糙度。本申请实施例能够降 低沉积在掩膜板组件上的膜层从掩膜板组件上 A 剥落的风险，提高掩膜板组件的使用寿命。 6 9