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发明

一种W-Y2O3-ZnO靶材及其制备方法2024

2024-03-11 07:13:28 发布于四川 9
  • 申请专利号：CN202311709383.5
  • 公开（公告）日：2024-03-05
  • 公开（公告）号：CN117644203A
  • 申请人：先导薄膜材料（广东）有限公司
摘要：本申请属于靶材生产技术领域，公开了一种W‑Y2O3‑ZnO靶材的制备方法，该方法先将钨粉、氧化钇粉、氧化锌粉按55～65：20～35：5～15的质量比混合，制得粉体，再将粉体投入真空热压炉并以5～10℃/min的升温速率升温至1000～1500℃保温30～120min后，以2～5MPa/min将环境压力升至20～40MPa并保温保压20～60min，随后降至室温并减压至标准大气压、机加工，得到W‑Y2O3‑ZnO靶材，所述步骤1中钨粉的粒径为2～30μm、氧化钇粉的粒径为10～20μm、氧化锌粉的粒径为10～20μm，本申请通过上述方法制得了一种具有高致密度的W‑Y2O3‑ZnO靶材，此外，本申请还公开了一种W‑Y2O3‑ZnO靶材。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117644203 A (43)申请公布日 2024.03.05 (21)申请号 202311709383.5 B22F 1/052 (2022.01) B22F 1/12 (2022.01) (22)申请日 2023.12.13 C22C 32/00 (2006.01) (71)申请人 先导薄膜材料（广东）有限公司 C23C 14/14 (2006.01) 地址 511517 广东省清远市高新区百嘉工 业园27-9号A区 (72)发明人 黄妞　文崇斌　谢小林　曾成亮　 廖湘东　 (74)专利代理机构 清远市诺誉知识产权代理事 务所(普通合伙) 44815 专利代理师 黄迅 (51)Int.Cl. B22F 3/14 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) C22C 1/05 (2023.01) C22C 27/04 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 (54)发明名称 一种W-Y O -ZnO靶材及其制备方法

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