一种改善透明层微气泡的石英坩埚制备工艺

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115745382 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211656768.5 (22)申请日 2022.12.22 (71)申请人 宁夏鑫晶新材料科技有限公司 地址 750000 宁夏回族自治区银川市西夏 区北京西路街道宏图南街与开元路交 叉口 (72)发明人 周勇　吴伟华　方志远　宁志新　 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 专利代理师 牛玉霜 (51)Int.Cl. C03B 20/00 (2006.01) C03B 19/09 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图1页 (54)发明名称 一种改善透明层微气泡的石英坩埚制备工 艺 (57)摘要 本发明提供了一种石英坩埚的制备工艺，包 括以下步骤，将石英砂原料置于模具中，在第一 转速下，石英砂原料附着在模具内壁上，在第一 真空条件下，起弧电流从零增加至第一起弧电 流，进行真空起弧熔融，附着在模具内壁的石英 砂表面开始液化并形成密封液相层；在附着在模 具内壁的石英砂表面形成密封液相层后，在第二 真空条件下、第二转速下和第二起弧电流下，继 续真空起弧熔融，制备石英坩埚的透明层；在第 三真空条件下、第三转速下和第三电流下，持续 真空起弧熔融，得到石英坩埚。本发明通过改变 A 模具转速，真空度以及电弧电压等相关参数条 2 件，改善石英坩埚透明层的微气泡问题，从而减 8