一种提升抗激光损伤能力的熔石英元件表面联合处理方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116462418 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202310510158.2 C03B 25/00 (2006.01) (22)申请日 2023.05.08 (71)申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究 中心 地址 621000 四川省绵阳市科学城绵山路 64号 申请人 西南科技大学 (72)发明人 孙来喜　何洪途　邹蕊矫　刘新祺　 余家欣　郑天然　王方　李青山　 (74)专利代理机构 绵阳远卓弘睿知识产权代理 事务所(普通合伙) 51371 专利代理师 张忠庆 (51)Int.Cl. C03C 15/00 (2006.01) C03C 23/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书8页 附图5页 (54)发明名称 一种提升抗激光损伤能力的熔石英元件表 面联合处理方法 (57)摘要 本发明公开了一种提升抗激光损伤能力的 熔石英元件表面联合处理方法，包括 ：将熔石英 元件在乙醇中超声清洗，去除掉表面的灰尘和油 渍，然后将熔石英元件置于去离子水中超声清 洗；将清洗后的熔石英元件置于平行板放电蚀刻 器中进行反应离子刻蚀，刻蚀后采用无机酸对元 件表面进行清洗，然后用去离子水清洗并晾干； 将清洗好的熔石英元件置于高温退火炉中，进行 高温退火处理；将高温退火处理之后