一种辊压薄膜凸点的装置

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116200719 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202211104015.3 (22)申请日 2022.09.09 (71)申请人 重庆金美新材料科技有限公司 地址 404100 重庆市綦江区古南街道桥河 工业园区金福二路12号 (72)发明人 臧世伟　 (74)专利代理机构 深圳市深可信专利代理有限 公司 44599 专利代理师 杨伟 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/26 (2006.01) C23C 14/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种辊压薄膜凸点的装置 (57)摘要 本发明提供了一种辊压薄膜凸点的装置，包 括设于真空腔体内的薄膜收放卷模块、主辊、压 辊，以及调节模块 ；主辊和压辊均设于放卷辊和 收卷辊之间；主辊设于薄膜一侧并与薄膜的该侧 抵接，所述压辊设有多个，多个压辊中的至少一 个压辊相应于主辊对薄膜一侧的抵接，设于薄膜 另一侧，用于对镀膜后薄膜上的凸点进行辊压； 相应于所述的设于薄膜另一侧的压辊，两个调节 模块平行设置于该压辊的两端，用于调节压辊； 调节模块包括滑轨、滑块、弹簧和用于限位弹簧 的限位块，滑块滑动安装于滑轨上，弹簧限位于 滑块与限位块之间 ，限位块设于滑轨的远滑块 A 端；压辊的两端分别转动安装于平行设置的两个 9 滑块上，使压辊辊