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发明

一种可变MEMS微波滤波器

2023-06-16 07:17:04 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202110236597.X
  • 公开（公告）日：2024-05-31
  • 公开（公告）号：CN113184798A
  • 申请人：浙江水利水电学院
摘要：本发明公开了一种可变MEMS微波滤波器，涉及无线通电硬件设备技术领域，包括有微波滤波器，所述微波滤波器包括上层硅片、下层硅片、谐振器电极、MEMS开关第一电极、MEMS开关第二电极以及氮化硅膜，所述下层硅片安装于上层硅片下方，所述谐振器电极、MEMS开关第一电极以及MEMS开关第二电极均设置于下层硅片与上层硅片之间，且谐振器电极末端串联MEMS开关第一电极以及MEMS开关第二电极。本发明通过设置MEMS开关第一电极以及MEMS开关第二电极，满足了减小体积的目的，实现不同的频率以及带宽；通过设置氮化硅膜，实现良好的接地作用；通过设置谐振器电极提高系统的集成度，降低了制作成本。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113184798 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110236597.X (22)申请日 2021.03.03 (71)申请人 浙江水利水电学院 地址 310018 浙江省杭州市经济开发区2号 大街508号 (72)发明人 吴秀山　崔佳民　徐霖　姚玮　 彭涛　闫树斌　 (74)专利代理机构 北京国坤专利代理事务所 (普通合伙) 11491 代理人 张国栋 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)发明名称 一种可变MEMS微波滤波器及其制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种可变MEMS微波滤波器及 其制备方法，涉及无线通电硬件设备技术领域， 包括液晶面板、偏光片、增亮膜、量子点膜以及导 光板，液晶面板厚度为1‑1.3mm，偏光片厚度为 1mm，偏光片安装于液晶面板一表面，增亮膜厚度 为20‑50μm，量子点膜膜厚为300‑400μm，导光 板厚度为4mm，液晶面板可视角度为180°，对比度 为700:1，偏光片一表面涂覆压敏胶，压敏胶厚度 为100μm，量子点膜包括扩散层、高阻隔膜以及 量子点膜发光层，若干高阻隔膜分别安装于与量 子点膜发光层两表面，扩散层安装在高阻隔膜一 表面。本发明通过设置偏光片，可以实现饱满色 A 域的目的；通过设置增亮

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