发明

一种可变MEMS微波滤波器

2023-06-16 07:17:04 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202110236597.X
  • 公开(公告)日:2024-05-31
  • 公开(公告)号:CN113184798A
  • 申请人:浙江水利水电学院
摘要:本发明公开了一种可变MEMS微波滤波器,涉及无线通电硬件设备技术领域,包括有微波滤波器,所述微波滤波器包括上层硅片、下层硅片、谐振器电极、MEMS开关第一电极、MEMS开关第二电极以及氮化硅膜,所述下层硅片安装于上层硅片下方,所述谐振器电极、MEMS开关第一电极以及MEMS开关第二电极均设置于下层硅片与上层硅片之间,且谐振器电极末端串联MEMS开关第一电极以及MEMS开关第二电极。本发明通过设置MEMS开关第一电极以及MEMS开关第二电极,满足了减小体积的目的,实现不同的频率以及带宽;通过设置氮化硅膜,实现良好的接地作用;通过设置谐振器电极提高系统的集成度,降低了制作成本。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113184798 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110236597.X (22)申请日 2021.03.03 (71)申请人 浙江水利水电学院 地址 310018 浙江省杭州市经济开发区2号 大街508号 (72)发明人 吴秀山 崔佳民 徐霖 姚玮  彭涛 闫树斌  (74)专利代理机构 北京国坤专利代理事务所 (普通合伙) 11491 代理人 张国栋 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)发明名称 一种可变MEMS微波滤波器及其制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种可变MEMS微波滤波器及 其制备方法,涉及无线通电硬件设备技术领域, 包括液晶面板、偏光片、增亮膜、量子点膜以及导 光板,液晶面板厚度为1‑1.3mm,偏光片厚度为 1mm,偏光片安装于液晶面板一表面,增亮膜厚度 为20‑50μm,量子点膜膜厚为300‑400μm,导光 板厚度为4mm,液晶面板可视角度为180°,对比度 为700:1,偏光片一表面涂覆压敏胶,压敏胶厚度 为100μm,量子点膜包括扩散层、高阻隔膜以及 量子点膜发光层,若干高阻隔膜分别安装于与量 子点膜发光层两表面,扩散层安装在高阻隔膜一 表面。本发明通过设置偏光片,可以实现饱满色 A 域的目的;通过设置增亮

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