生产用于电子发射器的微棒的方法及相关联的微棒和电子发射器2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117301327 A (43)申请公布日 2023.12.29 (21)申请号 202310747763.1 (22)申请日 2023.06.21 (30)优先权数据 17/846498 2022.06.22 US (71)申请人 FEI 公司 地址 美国俄勒冈州 (72)发明人 刘坤　C ·鲁埃　A ·S ·巴姆　 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公 司 72001 专利代理师 黄涛　吕传奇 (51)Int.Cl. B28D 5/02 (2006.01) 权利要求书3页 说明书17页 附图8页 (54)发明名称 生产用于电子发射器的微棒的方法及相关 联的微棒和电子发射器 (57)摘要 本发明公开了生产用于电子发射器的微棒 的方法以及相关联的微棒和电子发射器。在一个 示例中，一种生产用于电子发射器的微棒的方法 包括：提供块状晶锭；从该块状晶锭移除第一板； 减小该第一板的厚度以生产第二板；以及铣削该 第二板以生产一个或多个微棒。在另一个示例 中，一种用于电子发射器的微棒包括微棒尖端区 域，该微棒尖端区域包括纳米针，该纳米针又包 括纳米棒和纳米突起尖端。该微棒和该纳米针通 过顺序地执行下列步骤由块状晶锭整体形成： (i)从该块状晶锭移除该微棒；(ii)粗处理该微 A 棒尖端区域以产生该纳米棒；以及(iii)细处理 7 该纳米棒以产生该纳米突起尖端。 2 3 1 0 3 7 1 1 N