开放式模块化的扫描探针显微镜控制系统2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117849399 A (43)申请公布日 2024.04.09 (21)申请号 202311499411.5 (22)申请日 2023.11.10 (71)申请人 北京航空航天大学 地址 100191 北京市海淀区学院路37号 (72)发明人 蔡微　师鑫龙　 (74)专利代理机构 北京金咨知识产权代理有限 公司 11612 专利代理师 岳燕敏 (51)Int.Cl. G01Q 10/06 (2010.01) G01Q 20/00 (2010.01) G01Q 60/00 (2010.01) G01Q 90/00 (2010.01) G05B 19/042 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图4页 (54)发明名称 开放式模块化的扫描探针显微镜控制系统 (57)摘要 本发明提供一种开放式模块化的扫描探针 显微镜控制系统，包括：模拟信号调理和接口模 块，与扫描探针显微镜探头的位置探测器连接， 接收位置探测器采集到的力传感器信号；锁相放 大模块，与模拟信号调理和接口模块连接，接收 力传感器信号，并基于接收到的力传感器信号确 定幅值、相位、X分量和Y分量；Z轴控制模块，与模 拟信号调理和接口模块、锁相放大模块均连接， 其接收力传感器信号，以及接收幅值和相位,并 生成驱动压电扫描台在Z方向上移动的Z向控制 信号；XY轴扫描控制和成像信号采集模块，与锁 相放大模块、Z轴控制模块均连接，其接