原创力.专利
确定器件制造工艺的控制参数的方法
- 申请专利号：CN202210429378.8
- 公开（公告）日：2025-07-15
- 公开（公告）号：CN114721232A
- 申请人：ASML荷兰有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114721232 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210429378.8 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (22)申请日 2018.08.22 专利代理师 郑振 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 17193430.0 2017.09.27 EP G03F 7/20 (2006.01) 17200255.2 2017.11.07 EP G06T 7/00 (2017.01) 18155070.8 2018.02.05 EP H01L 21/66 (2006.01) (62)分案原申请数据 201880062857.2 2018.08.22 (71)申请人 ASML荷兰有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 W ·T ·特尔 M ·J ·马斯洛 K ·范因根 ·舍瑙 P ·沃纳尔 A ·斯拉克特 R ·阿努西亚多
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