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发明

一种提高镀膜层附着力的工艺

2023-04-14 07:13:03 发布于四川 8
  • 申请专利号：CN202111597745.7
  • 公开（公告）日：2023-03-24
  • 公开（公告）号：CN114260155A
  • 申请人：深圳市山禾乐科技开发有限公司
摘要：本发明公开了一种提高镀膜层附着力的工艺，属于气相沉积技术领域，目前的派瑞林镀膜层前期偶联剂附着不均匀，且气相沉积时镀膜层厚度不均匀，导致镀膜层附着力低，容易脱落，本方案包括如下步骤：将工件进行清洗；将工件放入烘箱中，烘干清理工件表面的吸附的水汽；将工件放入涂覆机的蒸镀反应罐内；将反应罐密闭，并抽真空将硅烷偶联剂通过海绵吸附，将海绵投入反应罐内，按涂覆机要求进行偶联剂蒸涂；将派瑞林加入反应罐内，按涂覆机要求进行气相沉积涂覆派瑞林；系统放气、取出工件。硅烷偶联剂通过海绵吸附，增加分布面积，蒸汽均匀分布到反应罐腔室内，使得偶联剂均匀蒸涂在工件表面，然后再气相沉积涂覆派瑞林，提高镀膜层的附着力。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114260155 A (43)申请公布日 2022.04.01 (21)申请号 202111597745.7 B05C 15/00 (2006.01) B05C 13/02 (2006.01) (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人 深圳市山禾乐科技开发有限公司 地址 518000 广东省深圳市龙华新区观澜 街道凹背社区大富工业区11号鹏龙蟠 高科技园C栋三楼南 (72)发明人 彭杰真　 (74)专利代理机构 深圳市远航专利商标事务所 (普通合伙) 44276 代理人 田志远　袁浩华 (51)Int.Cl. B05D 1/00 (2006.01) B05D 1/36 (2006.01) B05D 7/02 (2006.01) B05C 9/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 (54)发明名称 一种提高镀膜层附着力的工艺 (57)摘要 本发明公开了一种提高镀膜层附着力的工 艺，属于气相沉积技术领域，目前的派瑞林镀膜 层前期偶联剂附着不均匀，且气相沉积时镀膜层 厚度不均匀，导致镀膜层附着力低，容易脱落，本 方案包括如下步骤：将工件进行清洗；将工件放 入烘箱中，烘干清理工件表面的吸附的水汽；将 工件

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