发明

一种高可靠的研磨机关停控制装置2025

2023-10-13 07:20:06 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202310856212.9
  • 公开(公告)日:2025-07-18
  • 公开(公告)号:CN116852253A
  • 申请人:浙江大学台州研究院
摘要:本发明公开了一种高可靠的研磨机关停控制装置,包括测频系统研磨机控制电路模块、连接口、两个串联的研磨机关停控制器、研磨机;所述测频系统控制电路模块与两个串联的研磨机关停控制器通过连接口连接,所述研磨机与两个串联的研磨机关停控制器通过电性连接;所述研磨机关停控制器为固态继电器或光电耦合器;所述测频系统控制电路模块包括研磨机控制输出自检模块、研磨机控制自检模块和关停研磨机控制模块;本发明提供了一种可靠性高、结构简单合理、制作方便、基于双路控制和带自检功能的适用于石英晶片研磨在线测频系统关停研磨机的控制装置。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116852253 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202310856212.9 (22)申请日 2017.12.19 (62)分案原申请数据 201711377317.7 2017.12.19 (71)申请人 浙江大学台州研究院 地址 318000 浙江省台州市市府大道西段 618号 (72)发明人 潘凌锋 陈浙泊 郭彬 陈一信  (74)专利代理机构 杭州天昊专利代理事务所 (特殊普通合伙) 33283 专利代理师 董世博 (51)Int.Cl. B24B 37/013 (2012.01) B24B 37/005 (2012.01) B24B 49/10 (2006.01) 权利要求书3页 说明书8页 附图5页 (54)发明名称 一种高可靠的研磨机关停控制装置 (57)摘要 本发明公开了一种高可靠的研磨机关停控 制装置,包括测频系统研磨机控制电路模块、连 接口、两个串联的研磨机关停控制器、研磨机;所 述测频系统控制电路模块与两个串联的研磨机 关停控制器通过连接口连接,所述研磨机与两个 串联的研磨机关停控制器通过电性连接;所述研 磨机关停控制器为固态继电器或光电耦合器;所 述测频系统控制电路模块包括研磨机控制输出 自检模块、研磨机控制自检模块和关停研磨机控 制模块;本发明提供了一种可靠性高、结构简单 合理、制作方便、基于双路控制和带自

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