单沟道微热导检测器及其制备方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117783401 A (43)申请公布日 2024.03.29 (21)申请号 202311814338.6 (22)申请日 2023.12.26 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术 研究所 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号 (72)发明人 冯飞　陈泊鑫　 (74)专利代理机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 专利代理师 余明伟 (51)Int.Cl. G01N 30/66 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图11页 (54)发明名称 单沟道微热导检测器及其制备方法 (57)摘要 本发明提供一种单沟道微热导检测器及其 制备方法，在基板中集成了导电连接件，用于替 代外接引线，避免了接触电阻的形成，减小了检 测器的零点误差和噪声干扰；取消了参考沟道， 将参考沟道的热敏电阻直接制备于基板中，避免 了参考沟道中气流扰动形成的噪声，同时，减少 了一路载气的需求，降低了气相色谱系统的供气 负担；本发明的微热导检测器结构简单，能有效 提高检测器的检测灵敏度，同时降低气相色谱系 统的供气负担，有利于便携式应用，可进一步促 进气相色谱系统的微型化。 A 1 0 4 3 8 7 7 1 1 N C CN 117783401 A 权　利　要　求　书 1/2 页 1