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PCT发明

用于具有气流旋转的外延反应器的反应室的基底支撑装置、反应室和外延反应器

2023-05-15 11:18:39 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080081390.3
  • 公开（公告）日：2025-03-25
  • 公开（公告）号：CN114729453A
  • 申请人：洛佩诗公司
摘要：一种用于在外延反应器的反应室中支撑基底的装置(420)；装置(420)包括：盘形元件(422)，其具有第一面(422A)和第二面(422B)，第一面(422A)适于在使用装置(420)时向上定位，第二面(422B)适于在使用装置(420)时向下定位，所述盘形元件(422)适于接收气流(F)以使装置(420)绕其轴线(X)旋转；基底支撑元件(424)，其与所述盘形元件(422)成单件并且优选地邻近所述第一面(422A)；以及轴(426)，其与所述盘形元件(422)同轴，与所述盘形元件(422)成单件并且具有在所述第二面(422B)处的第一端(426A)，所述轴(426)在其第二端(426B)处具有至少一个突出部(428A、428B、428C)，突出部(428A、428B、428C)的旋转适于由高温计(430)或热像仪检测。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114729453 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080081390.3 (74)专利代理机构 北京安信方达知识产权代理 有限公司 11262 (22)申请日 2020.11.23 专利代理师 张瑞　郑霞 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 102019000022047 2019.11.25 IT C23C 16/458 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2022.05.23 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/IB2020/061011 2020.11.23 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/105841 EN 2021.06.03 (71)申请人 洛佩诗公司 地址 意大利米兰巴兰扎泰 (72)发明人 西尔维奥 ·佩雷蒂　 毛里利奥 ·梅斯基亚　 权利要求书2页 说明书6页 附图6页 (54)发明名称 用于具有气流旋转的外延反应器的反应室 的基底支撑装置、反应室和

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