HMDS处理机构及处理工艺

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115772653 A (43)申请公布日 2023.03.10 (21)申请号 202211484143.5 (22)申请日 2022.11.24 (71)申请人 常州瑞择微电子科技有限公司 地址 213000 江苏省常州市新北区长江中 路25号3号楼一楼西 (72)发明人 徐飞　王玲　 (74)专利代理机构 常州市英诺创信专利代理事 务所(普通合伙) 32258 专利代理师 张秋月 (51)Int.Cl. C23C 14/50 (2006.01) B65G 47/90 (2006.01) B65G 47/74 (2006.01) B05D 1/00 (2006.01) C23C 14/12 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 (54)发明名称 HDMS处理机构及处理工艺 (57)摘要 本发明涉及一种HMDS处理机构及处理工艺， HMDS处理机构包括真空腔室和托起机构，所述真 空腔室的具有开口侧，所述开口侧配置有用于封 闭或打开其的真空闸门；所述托起机构具有用于 共同托起被送至所述真空腔室内的掩模板的至 少三个指钩，所述指钩具有用于与所述掩模板线 接触以支撑所述掩模板的倾斜面和/或弧形面。 本发明的HMDS处理机构可以以线接触的方式转 移掩模板，以避免掩模板被损伤或污染。 A 3 5 6 2 7 7 5 1 1 N