MEMS器件

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112340692 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202010787920.8 (22)申请日 2020.08.07 (30)优先权数据 16/537,308 2019.08.09 US (71)申请人 英飞凌科技股份有限公司 地址 德国诺伊比贝尔格 (72)发明人 A ·沃瑟　S ·巴曾　W ·克莱因　 J ·斯特拉塞　 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 黄倩 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图10页 (54)发明名称 MEMS器件 (57)摘要 本发明的实施例总体上涉及MEMS器件。一种 微机电系统(MEMS)器件包括布置在基底之上的 柔性膜和布置在柔性膜之上的第一背板。第一背 板包括面向柔性膜的第一多个凸出部。MEMS器件 还包括布置在柔性膜处的多个特征，其中多个特 征中的每个特征与第一多个凸出部中对应的一 个凸出部相关联。 A 2 9 6 0 4 3 2 1 1 N C CN 112340692 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种微机电系统MEMS器件，包括： 柔性膜，被布置在基底之上；