物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116621111 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310139332.7 B81C 1/00 (2006.01) (22)申请日 2023.02.20 (30)优先权数据 2022-024691 2022.02.21 JP (71)申请人 精工爱普生株式会社 地址 日本东京 (72)发明人 泷泽照夫　田中悟　 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 11240 专利代理师 李丹 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) G01P 15/08 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书16页 附图15页 (54)发明名称 物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法 (57)摘要 本发明公开了物理量传感器、惯性测量装置 以及制造方法，能够避免伴随着可动体的质量不 均匀性的不良情况。物理量传感器检测第三方向 上的物理量，包括固定于基板的固定部、一端与 固定部连接的支承梁以及可动体。可动体具有可 动电极部以及框架部。在固定电极部设置有第一 固定电极组和第二固定电极组。在可动电极部设 置有第一可动电极组和第二可动电极组。而且， 在第一可动电极组设置有向第三方向凹陷的第 一凹部，在第二固定电极组