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PCT发明

机器学习装置、基板处理装置、完成学习模型、机器学习方法、计算机可读取的存储介质

2023-05-09 11:11:41 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080065900.8
  • 公开（公告）日：2024-09-06
  • 公开（公告）号：CN114430707A
  • 申请人：株式会社荏原制作所
摘要：具备：取得包含基板在装置内的位置及在各单元内的经过时间的状态信息的状态信息取得部；具有预测在某个状态下对于进行是否从匣盒取出新的基板及搬送至哪个处理单元的行动的价值的预测模型，并将取得的状态信息作为输入，基于预测模型选择一个行动的行动选择部；以进行所选择的行动的方式发送指示信号的指示信号发送部；取得包含处理片数与等待时间的动作结果的动作结果取得部；及以处理片数越多且等待时间越短则报酬越大的方式基于取得的动作结果来计算报酬，并基于该报酬来更新预测模型的预测模型更新部。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114430707 A (43)申请公布日 2022.05.03 (21)申请号 202080065900.8 (74)专利代理机构 上海华诚知识产权代理有限 公司 31300 (22)申请日 2020.09.10 代理人 张丽颖 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-169007 2019.09.18 JP B24B 37/10 (2012.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 B24B 37/005 (2012.01) 2022.03.18 B24B 37/34 (2012.01) (86)PCT国际申请的申请数据 G06N 20/00 (2019.01) PCT/JP2020/034234 2020.09.10 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/054236 JA 2021.03.25 (71)申请人

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