全自动曝光设备2025
- 申请专利号:CN202410517720.9
- 公开(公告)日:2025-04-15
- 公开(公告)号:CN118083639A
- 申请人:广东科视光学技术股份有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118083639 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202410517720.9 (22)申请日 2024.04.28 (71)申请人 广东科视光学技术股份有限公司 地址 523000 广东省东莞市东城区主山振 兴路333号(B幢一楼) (72)发明人 陈志特 王华 黄海浩 朱敏 (74)专利代理机构 深圳市华盛智荟知识产权代 理事务所(普通合伙) 44604 专利代理师 胡国英 (51)Int.Cl. B65H 15/00 (2006.01) B65H 5/04 (2006.01) B65H 5/08 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书22页 附图5页 (54)发明名称 全自动曝光设备 (57)摘要 本申请涉及曝光机技术领域,尤其涉及一种 全自动曝光设备包括:设备主体、第一移动机构、 第一装载机构和第二装载机构。设备主体设置有 第一工作区域和第二工作区域。其中,第一移动 机构带动第一装载机构与第二装载机构中的至 少一个在第一工作区域与第二工作区域之间移 动。第一装载机构的移动路径位于第二装载机构 的路径的上方。在第一工作区域对待曝光件上下 料,在第二工作区域对待曝光件曝光。通过第一 装载机构与第二装载机构运载待曝光件,使待曝 光件的上下料与曝光工序能同步进行,提高生产 效率。将第一装载机构与第二装载机构上下布
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