感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法、电子器件的制造方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112639620 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 201980057549.5 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2019.08.13 代理人 朱丹 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2018-168170 2018.09.07 JP G03F 7/039 (2006.01) 2019-030587 2019.02.22 JP G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.03.03 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2019/031790 2019.08.13 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/049963 JA 2020.03.12 (71)申请人 富士胶片株式会社 地址 日本国东京都 (72)发明人 八木一成　金子明弘　川岛敬史　 后藤研由