基板制备方法及显示面板

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116520643 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202210084370.2 (22)申请日 2022.01.24 (71)申请人 成都辰显光电有限公司 地址 611731 四川省成都市高新区天映路 146号 (72)发明人 张宇　 (74)专利代理机构 北京东方亿思知识产权代理 有限责任公司 11258 专利代理师 尹红敏 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 基板制备方法及显示面板 (57)摘要 本发明公开了一种基板制备方法及显示面 板，基板制备方法包括：提供待加工基板，待加工 基板具有相对的第一表面和第二表面，第一表面 形成有对位标记部；翻转待加工基板，以使第一 表面和第二表面互换位置；在待加工基板的第二 表面上涂覆光刻胶 ；将待加工基板固定于固定 板，第一表面和固定板相对设置，且固定板和待 加工基板的厚度之间的差值小于或者等于预设 值；将曝光部和对位标记部进行对位，并通过曝 光部对待加工基板的第二表面进行曝光。通过将 固定板的厚度设置为和待加工基板的厚度之间 的差值小于或者等于预设值，以保证固定板对于 A 对位标记部的抬高高度能够使曝光聚焦定位，工 3 艺简单易操作，有效提高了基板的生产效率。 4 6 0 2 5 6 1 1 N C CN 116520643 A