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发明

用于制造硅钟表部件的方法

2023-05-09 11:43:04 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202210052591.1
  • 公开（公告）日：2024-07-09
  • 公开（公告）号：CN114460826A
  • 申请人：百达翡丽日内瓦公司
摘要：根据本发明的方法包括以下步骤：a)提供衬底(1)，该衬底(1)包括第一硅层(2)、第二硅层(3)以及在第一硅层(2)和第二硅层(3)之间的中间氧化硅层(4)；b)蚀刻第一硅层(2)以在其中形成钟表部件；c)从衬底(1)释放至少由经蚀刻的第一硅层(2)的全部或部分形成的、并包括钟表部件的晶圆；d)对钟表部件进行热氧化然后脱氧；e)在钟表部件上通过热氧化或沉积形成氧化硅层；f)从晶圆(8)中分离钟表部件。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114460826 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202210052591.1 G04D 3/00 (2006.01) C30B 33/10 (2006.01) (22)申请日 2019.03.19 C30B 33/02 (2006.01) (30)优先权数据 C30B 33/00 (2006.01) 18162729.0 2018.03.20 EP C30B 29/06 (2006.01) (62)分案原申请数据 C23C 14/10 (2006.01) 201980020156.7 2019.03.19 C23C 16/40 (2006.01) C01B 33/02 (2006.01) (71)申请人 百达翡丽日内瓦公司 地址 瑞士日内瓦 (72)发明人 西尔万 ·让纳雷　 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 专利代理师 赵赫　李新

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