用于光刻拼接的系统、软件应用程序及方法
- 申请专利号:CN202080092787.2
- 公开(公告)日:2023-12-29
- 公开(公告)号:CN114945870A
- 申请人:应用材料公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114945870 A (43)申请公布日 2022.08.26 (21)申请号 202080092787.2 卢多维克 ·戈代 (22)申请日 2020.12.11 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理 有限公司 11006 (30)优先权数据 专利代理师 徐金国 赵静 16/748,202 2020.01.21 US (51)Int.Cl. (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/20 (2006.01) 2022.07.11 G03F 1/70 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2020/064569 2020.12.11 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/150316 EN 2021.07.29 (71)申请人 应用材料公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 徐永安 克里斯多弗 ·丹尼斯 ·本彻 罗伯特 ·简 ·维瑟
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