一种用于线性放大光压驱动位移的反射镜及制备方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116643370 A (43)申请公布日 2023.08.25 (21)申请号 202310581723.4 (22)申请日 2023.05.23 (71)申请人 天津大学 地址 300110 天津市南开区卫津路92号 (72)发明人 顾春阳　房丰洲　黄思雨　 (74)专利代理机构 北京云嘉湃富知识产权代理 有限公司 11678 专利代理师 孙慧 (51)Int.Cl. G02B 7/182 (2021.01) G02B 7/198 (2021.01) 权利要求书1页 说明书10页 附图7页 (54)发明名称 一种用于线性放大光压驱动位移的反射镜 及制备方法 (57)摘要 本发明涉及一种用于线性放大光压驱动位 移的反射镜及制备方法，该反射镜包括激光照射 区，激光照射区设置在反射镜的中心位置 ；夹持 区，夹持区设置在反射镜的外圈 ；多个弹性支撑 臂设置在激光照射区和夹持区之间，弹性支撑臂 对激光照射区域起到弹性支撑，减小了光压作用 方向上的刚度，用于放大激光照射区的光压驱动 位移，多个弹性支撑臂的设置增加了重力作用方 向上的刚度，保证反射镜光压驱动位移响应的线 性度，解决 了实际使用中反射镜性能下降的问 题。本发明的反射镜具有光能到机械能转化效率 A 高、位移响应线性度好、小型化和低成本的优势， 0 可广泛的应用于精密测量领域。 7 3 3 4 6 6 1 1 N C CN 116643370 A