辅助图形拆分组合方法、系统、掩模板、设备及存储介质2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117742069 A (43)申请公布日 2024.03.22 (21)申请号 202410036349.4 (22)申请日 2024.01.08 (71)申请人 深圳晶源信息技术有限公司 地址 518000 广东省深圳市福田区福保街 道福保社区红棉道8号英达利科技数 码园C栋401A (72)发明人 周润　朱鹏辉　 (74)专利代理机构 深圳市智享知识产权代理有 限公司 44361 专利代理师 冯彬彬 (51)Int.Cl. G03F 1/38 (2012.01) G03F 1/36 (2012.01) 权利要求书2页 说明书12页 附图7页 (54)发明名称 辅助图形拆分组合方法、系统、掩模板、设备 及存储介质 (57)摘要 本发明涉及计算光刻技术领域，特别涉及一 种辅助图形拆分组合方法、系统、掩模板、设备及 存储介质。本发明的辅助图形拆分组合方法，利 用掩模上的亚分辨率辅助图形对应的晶源光刻 胶位置不形成图像的特点，并且可以通过光学邻 近效应对主图形的成像起到增益作用；本方法根 据放置区间对辅助图形规则进行拆分和重新组 合，在保证灵活性、普适性的同时能够避免辅助 图形清理的不稳定性。本发明解决了在光学邻近 矫正中，对流片的不同辅助图形规则之间冲突的 清理结果可能偏离工艺要求的技术问题。本发明 A 的辅助图形拆分组合系统、掩模板、设备及存储 9 介质具有与辅助图形拆分组合方法相同的