一种用于二维材料微纳米器件制备的多功能系统及方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113716520 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111009419.X (22)申请日 2021.08.31 (71)申请人 电子科技大学 地址 611731 四川省成都市高新区（西区） 西源大道2006号 (72)发明人 王曾晖　梁亚春　朱健凯　 肖飞　 (74)专利代理机构 成都点睛专利代理事务所 (普通合伙) 51232 代理人 葛启函 (51)Int.Cl. B82B 3/00 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 (54)发明名称 一种用于二维材料微纳米器件制备的多功 能系统及方法 (57)摘要 本申请提供一种用于二维材料微纳米器件 制备的多功能系统及方法，该多功能系统包括安 装固定底座、位移模块、多功能转换模块、基底固 定旋转模块。其中，安装固定底座能够固定支撑 整个多功能系统。位移模块可以独立地沿X、Y、Z 三个方向线性移动，方便实现二维晶体材料样品 与基底之间的定位和对准操作。多功能转换模块 仅在更换多功能转换片的情况下，实现了二维晶 体材料转移和金属电极淀积之间的功能切换。基 底固定旋转模块不仅可以固定基底，还可以进行 旋转操作，调整二维晶体材料或者金属淀积用掩 A 模版与基底之间的相对角度，使该系统在材料转 0 移和金属电极淀积实现上有更好的灵活性。 2 5 6 1 7