真空起支装置及真空起支方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117649963 A (43)申请公布日 2024.03.05 (21)申请号 202311348567.3 (22)申请日 2023.10.17 (71)申请人 之江实验室 地址 311121 浙江省杭州市余杭区中泰街 道科创大道之江实验室 (72)发明人 陈志明　李桐　何沛彤　李文文　 傅振海　高晓文　胡慧珠　 (74)专利代理机构 北京博思佳知识产权代理有 限公司 11415 专利代理师 王剑 (51)Int.Cl. G21K 1/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 (54)发明名称 真空起支装置及真空起支方法 (57)摘要 本申请提供一种真空起支装置及真空起支 方法。该真空起支装置包括真空模块、光学捕获 电学探测模块及起支模块。其中，真空模块包括 真空腔、真空泵及真空阀，真空泵用于对真空腔 进行抽真空，真空阀用于调节真空腔内的气压。 起支模块安装在真空模块的外部，用于将微粒输 送至真空腔内到达光阱位置，起支模块包括气 瓶、与气瓶连接的雾化杯、以及与雾化杯连接的 起支过渡外壳。雾化杯用于将气瓶放出的气体进 行雾化，并通过起支过渡外壳将雾化后的微粒喷 入到真空腔内。光学捕获电学探测模块用于通过 光学手段形成光学势阱来捕获真空腔中的微粒， A 并探测微粒的运动信息。 3 6 9 9 4 6 7 1 1 N C CN 117649963 A