控制系统及半导体检测设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220820493 U (45)授权公告日 2024.04.19 (21)申请号 202322801201.9 (22)申请日 2023.10.18 (73)专利权人 东方晶源微电子科技（北京）股份 有限公司 地址 100176 北京市大兴区北京经济技术 开发区经海四路156号院12号楼 (72)发明人 王彦龙　 (74)专利代理机构 北京汇知杰知识产权代理有 限公司 11587 专利代理师 李国　张婷婷 (51)Int.Cl. G05B 19/042 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)实用新型名称 控制系统及半导体检测设备 (57)摘要 本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉 及一种控制系统及半导体检测设备。该控制系统 包括第一控制器、第二控制器、第三控制器以及 偏置电源；所述第一控制器用于发出时钟信号， 所述第二控制器设置为能够接收所述第一控制 器发出的时钟信号以发出第一扫描信号，所述第 三控制器接入偏置电源并设置为能够接收所述 第一控制器发出的时钟信号以发出第二扫描信 号。偏置电源给第三控制器提供了偏置电压，如 此经由第三控制器输出的第二控制信号具有电 压偏置，在电子束扫描晶圆过程中，通过具备电 压偏置的第二控制信号及第一控制信号实现对 U 电子束流轨迹进行补偿，消除虚焦以确保成像质 3 量。 9 4 0 2 8 0 2 2 N C