一种MEMS器件用高服役可靠性、廉价层状复合材料的设计方法2023

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116692764 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202310598444.9 (22)申请日 2023.05.25 (71)申请人 中国科学院金属研究所 地址 110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路 72号 (72)发明人 张广平　李梅月　宋竹满　罗雪梅　 (74)专利代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限 公司 21002 专利代理师 于晓波 (51)Int.Cl. B81B 7/00 (2006.01) C22C 19/05 (2006.01) C22F 1/10 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 (54)发明名称 一种MEMS器件用高服役可靠性、廉价层状复 合材料的设计方法 (57)摘要 本发明公开了一种MEMS器件用高服役可靠 性、廉价层状复合材料的设计方法。该方法设计 由金属镍层和镍钨合金层交替层叠组成复合层 状材料，材料在长期服役过程中内部产生的疲劳 裂纹可通过发生钝化、偏折以及界面脱粘来降低 裂纹扩展速率，从而提高材料的服役寿命；可通 过热处理调控材料异质层间晶粒尺寸匹配，进一 步提高材料强度。本发明的特点在于：(1)材料成 本低，力学性能可靠，并具有长使用寿命；(2)所 设计的层状金属复合材料可抑制器件服役过程 中疲劳裂纹的萌生和扩展，降低局部应力集中 ； A (3)可以在空间