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PCT发明

用于改善图像中的结构的基于过程的轮廓信息的方法

2023-05-05 09:39:32 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080058841.1
  • 公开（公告）日：2024-08-13
  • 公开（公告）号：CN114286964A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司
摘要：本文描述了产生经修改的模拟轮廓和/或基于经修改的轮廓产生量测量规的方法。一种产生用于测量衬底上的结构的物理特性的量测量规的方法包括：获得(i)与印制于所述衬底上的所述结构的所述物理特性相关联的测量数据，和(ii)所述结构的模拟轮廓的至少一部分，所述模拟轮廓的所述部分与所述测量数据相关联；基于所述测量数据修改所述结构的所述模拟轮廓的所述部分；和在所述模拟轮廓的经修改的部分上或附近产生所述量测量规，所述量测量规被放置以测量所述结构的所述模拟轮廓的所述物理特性。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114286964 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202080058841.1 (72)发明人 郑羽南　范永发　冯牧　郑雷武　 王祯祥　罗亚　张辰骥　陈骏　 (22)申请日 2020.08.01 侯振宇　王进泽　陈峰　马紫阳　 (30)优先权数据 郭欣　程进　 62/889,248 2019.08.20 US (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 (66)本国优先权数据 公司 11021 PCT/CN2020/085643 2020.04.20 CN 代理人 王益 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 (51)Int.Cl. 2022.02.18 G03F 7/20 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据

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