光学装置、曝光装置以及物品制造方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112286002 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 202010704311.1 (22)申请日 2020.07.21 (30)优先权数据 2019-137081 2019.07.25 JP 2020-070010 2020.04.08 JP (71)申请人 佳能株式会社 地址 日本东京 (72)发明人 矢田裕纪　 (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所 有限公司 11038 代理人 李鹏宇 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) G02B 27/00 (2006.01) 权利要求书3页 说明书9页 附图6页 (54)发明名称 光学装置、曝光装置以及物品制造方法 (57)摘要 本发明提供光学装置、曝光装置以及物品制 造方法。光学装置的特征在于，具有：镜筒，该镜 筒形成有使光通过的开口；光学部件，该光学部 件包括具有比上述开口的面积大的面积的表面， 该光学部件以上述表面面向上述开口的方式被 收容于上述镜筒；以及喷吹部，该喷吹部配置成 包围上述开口，相对于上述表面喷吹具有比上述 镜筒的外部的气体的清洁度高的清洁度的气体。 A 2 0 0 6 8 2 2 1 1 N C CN 112286002 A 权　利　要　求　书 1/3页 1.