一种多层超硬材料倒角砂轮及其制备方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117001555 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202311041652.5 (22)申请日 2023.08.18 (71)申请人 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 地址 450001 河南省郑州市高新区梧桐街 121号 (72)发明人 李国伟　于鸿飞　张毅　陈晓强　 (74)专利代理机构 郑州联科专利事务所(普通 合伙) 41104 专利代理师 张丽 (51)Int.Cl. B24D 5/04 (2006.01) B24D 3/10 (2006.01) B24D 3/34 (2006.01) B24D 18/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种多层超硬材料倒角砂轮及其制备方法 (57)摘要 本发明公开一种多层超硬材料倒角砂轮及 其制备方法，属于超硬材料砂轮技术领域，所述 超硬材料倒角砂轮外圆至基体从外向内分布有 三层结构：磨削层含有磨料进行衬底晶片磨削加 工；增强层用于组成核心骨架把持磨削层和缓冲 层，具有较高的抗折强度和拉伸强度，防止磨削 层大块碎裂及脱落；缓冲层用于形成网状结构串 联磨削层和增强层，具有一定弹性，可降低工件 磨削中磨削力冲击；本发明的砂轮结构简单，操 作简便；可对半导体衬底晶片进行低损伤加工， 降低超硬材料倒角砂轮和半导体衬底晶片接触 时的刚性，加工效果好，被加工后衬底晶片损伤 A 层崩