一种半固定的微机械超声换能器

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115156017 A (43)申请公布日 2022.10.11 (21)申请号 202210773141.1 (22)申请日 2022.07.01 (71)申请人 复旦大学 地址 200433 上海市杨浦区邯郸路220号 (72)发明人 任俊彦　何勒铭　王言　 (74)专利代理机构 上海正旦专利代理有限公司 31200 专利代理师 陆飞　陆尤 (51)Int.Cl. B06B 1/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 (54)发明名称 一种半固定的微机械超声换能器 (57)摘要 本发明公开了一种半固定的微机械超声换 能器。换能器单元包括压电叠层、中性层、空腔和 衬底；压电叠层包含上电极层、压电层与底电极 层；中性层为压电叠层提供支撑作用，其具有镂 空，即呈长方形的主体支撑结构是半固定的，一 对侧边是自由的；空腔是中性层下方的中空结 构，为薄膜提供振动的空间；中性层通过空腔外 的侧墙与衬底结合。本发明的振动薄膜是半固定 的，具有多种半固定的、处于不同频段谐振模态， 可以分别实现高品质因数、超窄带的谐振，及低 品质因数、宽带的谐振。本发明通过对压电叠层 进行交流信号激励或使用模拟前端电路进行电 A 信号感知，可以实现高性能的超声波信号收发。 7 1 0 6 5 1 5 1 1 N C CN 115156017 A 权　利　要　求　书