一种MEMS产品的切割方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117842925 A (43)申请公布日 2024.04.09 (21)申请号 202311804830.5 (22)申请日 2023.12.26 (71)申请人 广东气派科技有限公司 地址 523330 广东省东莞市石排镇气派科 技路气派大厦 (72)发明人 陈盛荣　张芳琼　李凤珍　王金刚　 刘欣　苏汉有　张怡　 (74)专利代理机构 深圳市深软翰琪知识产权代 理有限公司 44380 专利代理师 吴雅丽 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 (54)发明名称 一种MEMS产品的切割方法 (57)摘要 本发明提供了一种MEMS产品的切割方法，其 包括：画不良步骤、贴膜步骤、切割步骤和剔除不 良步骤，在所述贴膜步骤中，采用UV膜贴附在PCB 背面，在所述切割步骤中，采用金属刀进行切割， 将所述PCB板切割为多个MEMS产品。采用本发明 的MEMS产品切割方法，可以减少在切割工序产生 的残胶及碎屑。 A 5 2 9 2 4 8 7 1 1 N C CN 117842925 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种MEMS产品的切割方法，其特征在于，包括依序进行的画不良步骤、贴膜步骤、