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PCT发明

用于表征测试物体的表面形状的设备和方法

2023-06-23 08:13:23 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN201980091828.3
  • 公开（公告）日：2024-09-03
  • 公开（公告）号：CN113424104A
  • 申请人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要：本发明涉及一种用于表征测试物体的表面形状的设备和方法。根据本发明的用于表征测试物体的表面形状的设备具有：测试布置(130，230)，用于使用测试波来确定测试物体(111，112，113，211，212，213)的表面形状，其中，该测试波具有由衍射光学元件处的衍射产生的波前；第一真空室(110，210)；以及第二真空室(120，220)，其中，第二真空室(120，220)具有用于存放至少两个衍射光学元件(121，122，123，221，222，223)的供应室。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113424104 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 201980091828.3 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 (22)申请日 2019.12.21 代理人 王蕊瑞 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 102019201762.2 2019.02.12 DE G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G01B 9/02 (2006.01) 2021.08.11 G01M 11/02 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2019/086881 2019.12.21 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/164786 DE 2020.08.20 (71)申请人 卡尔蔡司SMT有限责任公司 地址 德国上科亨 (72)发明人 J.赫茨勒　H

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