一种轴承端面薄膜图案的制备工装及方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116607106 A (43)申请公布日 2023.08.18 (21)申请号 202310396910.5 (22)申请日 2023.04.13 (71)申请人 中国航空工业集团公司北京航空精 密机械研究所 地址 100076 北京市丰台区南苑东路5号 (72)发明人 李星亮　 (51)Int.Cl. C23C 14/04 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/46 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 一种轴承端面薄膜图案的制备工装及方法 (57)摘要 本发明涉及表面镀膜技术领域，具体涉及一 种轴承端面薄膜图案的制备工装及方法。该工装 包括转接板、图案掩模板、压板和紧固件，转接板 可拆卸地安装于薄膜加工样品台，转接板与图案 掩模板之间形成用于放置待镀轴承的安装空间， 压板贴合压设于图案掩模板远离转接板的端面， 紧固件依次贯穿压板、图案掩模板及待镀轴承并 整体紧固于转接板。该轴承端面薄膜图案的制备 工装及方法的目的是解决现有的工件薄膜制备 工艺复杂、工期长、生产效率低的问题。 A 6 0 1 7 0 6 6 1 1 N C CN 116607106 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种轴承端