发明

一种快速可控制备超细金属纳米晶/纳米碳复合薄膜的方法2025

2024-03-02 07:11:55 发布于四川 2
  • 申请专利号:CN202311292962.4
  • 公开(公告)日:2025-08-08
  • 公开(公告)号:CN117568759A
  • 申请人:中国科学院金属研究所
摘要:本发明涉及纳米材料的可控制备领域,具体为一种快速可控制备超细金属纳米晶/纳米碳复合薄膜的方法。采用离子束溅射或磁控溅射等物理沉积方法在纳米碳薄膜上担载金属纳米颗粒,在正压(高于标准大气压0.01~0.2MPa)、含微量氧气(氧气体积分数0.001%~0.2%)的惰性气氛中快速加热及冷却(升降温速率为100~300℃/s),使金属纳米颗粒形成具有特定取向的纳米晶,获得超细(直径<3nm)金属纳米晶(纯度>95%)单分散于纳米碳的复合薄膜上。通过调控沉积条件和快速加热的升降温速率,调节金属纳米颗粒的分散度和尺寸,获得直径和分散度可调的金属纳米晶。特别在单壁碳纳米管薄膜上,以管束诱导可使纳米晶形成大长径比的金属纳米晶。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117568759 A (43)申请公布日 2024.02.20 (21)申请号 202311292962.4 C25B 11/065 (2021.01) C25B 11/075 (2021.01) (22)申请日 2023.10.08 C23C 14/54 (2006.01) (71)申请人 中国科学院金属研究所 B82Y 30/00 (2011.01) 地址 110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路 72号 (72)发明人 张峰 李康 刘畅 何桂枝  成会明  (74)专利代理机构 沈阳优普达知识产权代理事 务所(特殊普通合伙) 21234 专利代理师 张志伟 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/18 (2006.01) C23C 14/58 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 一种快速可控制备超细金属纳米晶/纳米碳 复合薄膜的方法 (57)摘要

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