一种电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级制作工艺

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114019673 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111226876.4 (22)申请日 2021.10.21 (71)申请人 西北工业大学宁波研究院 地址 315000 浙江省宁波市高新区清逸路 218弄A3栋5楼 (72)发明人 虞益挺　周奎　单政　张倩　 王谢君　王飞　景夏雷　 (74)专利代理机构 宁波甬致专利代理有限公司 33228 代理人 高瑞霞 (51)Int.Cl. G02B 26/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书11页 附图4页 (54)发明名称 一种电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级制 作工艺 (57)摘要 本发明公开一种电磁驱动珐珀滤波芯片及 其圆片级制作工艺，属于智能光电芯片和半导体 领域，主要涉及微机电系统、微纳光学、电磁驱动 等技术。芯片主要结构包括可动镜体1、固定镜体 2、可动反射镜3、固定反射镜4,支撑薄膜5、键合 层6、永磁体7、间隔层8、PCB驱动/控制电路9和封 装外壳10。本发明提出的电磁驱动珐珀滤波芯片 可实现双向宽幅线性调制，增大珐珀滤波芯片调 谐范围，克服其他驱动式的珐珀滤波芯片调制范 围有限、非线性驱动和响应速度慢等缺点。所采 用的MEMS圆片级体加工技术可实现大孔径珐珀 A 滤波芯片的低成本