发明

原位烘干浸渍法基片薄膜成型装置及其成型方法

2023-06-30 07:00:09 发布于四川 2
  • 申请专利号:CN202210623869.6
  • 公开(公告)日:2023-03-14
  • 公开(公告)号:CN114985195A
  • 申请人:潍坊学院
摘要:本发明公开了一种原位烘干浸渍法基片薄膜成型装置及其成型方法;该装置包括薄膜成型箱,薄膜成型箱内依次形成有基片室、镀膜室和烘干室,还包括基片放置装置、基片镀膜装置、基片烘干装置、基片输送装置以及薄膜成型操控台;基片放置装置设置在所述基片室内用于放置基片;基片镀膜装置设置在所述镀膜室内用于对基片进行镀膜处理;基片烘干装置设置在所述烘干室内用于对基片进行烘干处理;基片输送装置用于携带基片在所述基片室、所述镀膜室、所述烘干室之间水平往复输送;本发明采用湿法制备基片薄膜时的原位烘干,在薄膜成型操控台控制下,实现了设备内无杂质作业,最大程度地减少人为干预带来的不良影响,可有效提高膜层间的吸附力和均匀性。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114985195 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202210623869.6 B05C 13/02 (2006.01) B05C 15/00 (2006.01) (22)申请日 2022.06.02 B05D 1/18 (2006.01) (71)申请人 潍坊学院 B05D 3/02 (2006.01) 地址 261061 山东省潍坊市高新区东风东 B05D 3/04 (2006.01) 街5150号潍坊学院物理与电子信息学 院 (72)发明人 朱海玲 王博文 黄飞翔 李英德  黄宝歆  (74)专利代理机构 潍坊博强专利代理有限公司 37244 专利代理师 付露露 (51)Int.Cl. B05C 3/10 (2006.01) B05C 9/12 (2006.01) B05C 9/14 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图8页 (54)发明名称

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