压电微机械超声波换能器及超声探测系统

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116140175 A (43)申请公布日 2023.05.23 (21)申请号 202310217941.X (22)申请日 2023.03.08 (71)申请人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿 生研究所 地址 215123 江苏省苏州市工业园区若水 路398号 (72)发明人 商文玲　李加东　苗斌　王丹芮　 (74)专利代理机构 苏州三英知识产权代理有限 公司 32412 专利代理师 仲崇明 (51)Int.Cl. B06B 1/06 (2006.01) G01N 29/22 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 压电微机械超声波换能器及超声探测系统 (57)摘要 本发明公开了一种压电微机械超声波换能 器及超声探测系统，该压电微机械超声波换能器 包括PMUT单元和挡板，其中，PMUT单元包括形成 于衬底上的至少用于发射和接收超声波的PMUT 阵元，挡板覆盖于部分PMUT阵元发射超声波的一 侧发射方向上。该压电微机械超声波换能器在部 分PMUT阵元发射超声波的一侧发射方向上设置 挡板，使部分有挡板的PMUT阵元只能在无挡板的 一侧发射方向上发射或接收超声波 ，无挡板的 PMUT阵元可同时在其两侧发射方向上发射或接 收超声波。本发明采用这种单侧探测和双侧探测 相结合的方式，在增大PMUT器件的探测范围的同 A 时，通过对比单侧探测的回波信号与双侧探测的