宽带飞秒激光高轴向分辨率直写装置及方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117908339 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202410309866.4 (22)申请日 2024.03.19 (71)申请人 之江实验室 地址 311121 浙江省杭州市余杭区中泰街 道科创大道之江实验室 (72)发明人 杨顺华　高秀君　苏晨怡　施钧辉　 (74)专利代理机构 杭州求是专利事务所有限公 司 33200 专利代理师 邱启旺 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 宽带飞秒激光高轴向分辨率直写装置及方 法 (57)摘要 本发明公开了一种宽带飞秒激光高轴向分 辨率直写装置及方法，该装置按光前进方向依次 包括飞秒激光光源、第一透镜、介质、第二透镜、 反射镜、数字微镜阵列、第三透镜、物镜和位移 台，其中，介质位于第一透镜和第二透镜之间的 焦点位置，数字微镜阵列位于第三透镜的前焦面 位置，物镜的焦面位于位移台所承载的样品内； 利用飞秒激光在介质中的非线性作用生成宽带 飞秒激光，通过数字微镜阵列对该飞秒激光进行 调制实现光场调控，并结合该宽带飞秒激光在刻 写平面的时空同步聚焦效应，实现对样品的刻 A 写。本发明能够大幅度提升轴向分辨率，实现高 9 通量、高分辨率、任意复杂结构的三维刻写。 3 3 8 0 9 7 1 1 N C CN 117908339 A