一种声表面波谐振器及其制作方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113452342 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110918720.6 (22)申请日 2021.08.11 (71)申请人 江苏卓胜微电子股份有限公司 地址 214072 江苏省无锡市滨湖区建筑西 路777号A3幢11层 (72)发明人 宋崇希　姚艳龙　邱鲁岩　王放　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 岳晓萍 (51)Int.Cl. H03H 9/25 (2006.01) H03H 9/02 (2006.01) H03H 3/10 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图8页 (54)发明名称 一种声表面波谐振器及其制作方法 (57)摘要 本发明提供一种声表面波谐振器及其制作 方法，该声表面波谐振器包括：压电层；第一金属 膜层，第一金属膜层位于压电层的一侧，其中，第 一金属膜层包括叉指式换能器和信号传输器，信 号传输器与叉指式换能器连接；第一温度补偿膜 层，第一温度补偿膜层位于叉指式换能器的远离 压电层的一侧，第一温度补偿膜层覆盖叉指式换 能器，且第一温度补偿膜层不覆盖信号传输器； 阻挡层，阻挡层位于第一温度补偿膜层远离压电 层的一侧，阻挡层覆盖第一温度补偿膜层，且阻 挡层不覆盖信号传输器。本发明实施例提供的声 表面波谐振器及其制作方法，能够实现声表面波 A 滤波器的零温度系数，从而使声表面波滤波器的