一种高精密激光盲孔的加工方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117460167 A (43)申请公布日 2024.01.26 (21)申请号 202311638949.X (22)申请日 2023.12.01 (71)申请人 大连崇达电路有限公司 地址 111600 辽宁省大连市经济技术开发 区光明西街11-2号-1-3层 (72)发明人 纪龙江　 (74)专利代理机构 深圳市精英专利事务所 44242 专利代理师 巫苑明 (51)Int.Cl. H05K 3/00 (2006.01) H05K 3/06 (2006.01) H05K 3/28 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种高精密激光盲孔的加工方法 (57)摘要 本发明公开了一种高精密激光盲孔的加工 方法，包括以下步骤：提供一具有若干单元板且 还未经过机械钻孔的生产板，且在单元板中制作 内层线路时，根据激光盲孔的孔底所对应的内层 线路层，一并在该内层线路层的单元板四角处均 制作出靶标；在生产板上贴膜，通过曝光和显影 在每一单元板上对应激光盲孔的位置处均形成 钻孔图案；通过蚀刻去除钻孔图案处的铜层，形 成开窗，而后退膜；使用激光在对应靶标的位置 处进行钻孔，以显露出内层的靶标；分别以每一 单元板四角处的靶标作为定位，通过激光在每一 单元板的开窗处进行控深钻孔，以形成盲孔。本 A 发明方法解决了因天窗实际位置偏移与光轴偏 7 差过大导致激光孔形不良、可靠性