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PCT发明

超声处理纳米几何形状控制过程和方法2024

2024-02-15 07:29:31 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202280043277.5
  • 公开（公告）日：2024-02-09
  • 公开（公告）号：CN117545711A
  • 申请人：奇跃公司
摘要：本文公开了用于制造衬底上的纳米结构的系统和方法，其可用于显示器的目镜，例如，用于头戴式设备中的目镜。制造和/或蚀刻这样的衬底可以包括将衬底浸入浴中并在第一时间段内对该浴应用超声处理。应用到第一浴的超声处理可以搅动流体以跨衬底表面而提供基本一致的第一反应环境。可以将衬底浸入第二浴中并在第二时间段内对第二浴应用超声处理。应用到第二浴的超声处理可以搅动流体以跨衬底表面而提供基本一致的第二反应环境。在第二时间段期间，可以从衬底表面去除预定量的材料以制造蚀刻衬底。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117545711 A (43)申请公布日 2024.02.09 (21)申请号 202280043277.5 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 (22)申请日 2022.04.19 专利代理师 王英杰　于静 (30)优先权数据 (51)Int.Cl . 63/177,294 2021.04.20 US B82Y 40/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.12.18 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2022/071803 2022.04.19 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/226497 EN 2022.10.27 (71)申请人 奇跃公司 地址 美国佛罗里达州 (72)发明人 V ·辛格　L ·麦克唐纳　F ·Y ·徐　 权利要求书3页 说明书25页 附图19页 (54)发明名称 超声处理纳米几何形状控制过程和方法 (57)摘要 本文公开了用于制造衬底上的纳米结构的

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