泵控制参数的调整方法、计算机程序、记录介质、喷出及涂布装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117619592 A (43)申请公布日 2024.03.01 (21)申请号 202311091614.0 (22)申请日 2023.08.28 (30)优先权数据 2022-138994 2022.09.01 JP (71)申请人 株式会社斯库林集团 地址 日本京都府 (72)发明人 冈本悟史　木村崇也　安陪裕滋　 (74)专利代理机构 隆天知识产权代理有限公司 72003 专利代理师 宋晓宝 (51)Int.Cl. B05B 12/08 (2006.01) B05B 9/04 (2006.01) 权利要求书2页 说明书25页 附图21页 (54)发明名称 泵控制参数的调整方法、计算机程序、记录 介质、喷出及涂布装置 (57)摘要 本发明涉及泵控制参数的调整方法、计算机 程序、记录介质、喷出装置以及涂布装置，将用于 从泵向喷嘴送出处理液的泵控制参数进行最优 化，以使能够在实际的喷出动作中得到与目标一 致的特性。本发明的泵控制参数的调整方法包 括：调整工序，临时设定控制参数，从泵送出处理 液，获取喷出压力曲线，调整控制参数，以使所获 取的喷出压力曲线接近预先设定的目标曲线；基 于所调整的控制参数，执行喷出动作，获取喷出 压力曲线的工序；设定工序，设定与在调整工序 中获取的喷出压力曲线与在喷出动作中获取的 A 喷出压力曲线的差分对应的偏移量；以及再调整 2 工序，再调整控制参数，以使在所获取的喷出压 9