一种束流在线电荷极性转换装置2023

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107293347 A (43)申请公布日 2017.10.24 (21)申请号 201710558948.2 (22)申请日 2017.07.10 (71)申请人 中国原子能科学研究院 地址 102413 北京市房山区新镇三强路1号 院 (72)发明人 陈立华　崔保群　唐兵　马瑞刚　 黄青华　马鹰俊　马燮　 (51)Int.Cl. G21K 1/14(2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种束流在线电荷极性转换装置 (57)摘要 本发明属于离子束操纵技术领域，具体涉及 一种束流在线电荷极性转换装置，包括底部密封 连接加热炉(3)的外筒(1)，所述外筒(1)筒壁上 对称设置一对能够通过离子束流的外筒束流通 道孔(6)，所述加热炉(3)用于通过加热工作介质 产生工艺气体，还包括通过能够密封设置在所述 外筒(1)顶部的法兰(8)设置在所述外筒(1)内的 内筒(2)，所述内筒(2)底部的开口位于所述加热 炉(3)顶部的开口上方，所述内筒(2)的筒壁上对 称设置一对与所述外筒束流通道孔(6)相对应 的、能够通过所述离子束流的内筒束流通道孔 (7)。该装置能够实现工作介质的循环利用，并限 A 制工艺气体的作用范围，提高工作介质的使用效 7 率，降低成本。 4 3 3 9 2 7 0 1 N C