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PCT发明

激光粗加工：工程化突节顶部的粗糙度

2023-06-23 08:07:00 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080013587.3
  • 公开（公告）日：2024-12-03
  • 公开（公告）号：CN113412453A
  • 申请人：ASML控股股份有限公司
摘要：公开了用于在光刻过程期间减少粘附的方法、计算机程序产品和设备。减少物体与用于在光刻过程中支撑物体的改性表面的粘附的示例性方法可以包括：控制光源将光递送到原生表面，由此引起原生表面的至少一部分的烧蚀以增加原生表面的粗糙度，从而形成改性表面。增加的粗糙度降低了物体粘附到改性表面的能力。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113412453 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202080013587.3 B ·D ·道森　 (22)申请日 2020.02.03 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (30)优先权数据 代理人 胡良均 62/807,361 2019.02.19 US (51)Int.Cl. (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/20 (2006.01) 2021.08.10 H01L 21/683 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/052551 2020.02.03 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/169326 EN 2020.08.27 (71)申请人 ASML控股股份有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 D ·苏赫拉比巴巴海达里　 C ·J ·马森　P ·赫尔姆斯　 M ·A ·阿克巴斯　B ·

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