原创力.专利
发明
一种阵列式内共振微机械结构及其微型磁传感器2024
2024-08-07 11:35:54
发布于四川
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- 申请专利号：CN202410534400.4
- 公开（公告）日：2024-08-06
- 公开（公告）号：CN118444220A
- 申请人：华南农业大学
摘要：本发明公开一种阵列式内共振微机械结构及其微型磁传感器，通过内共振系统经阵列拓扑组成；在串并联拓扑关系上，一对扭转结构通过耦合梁相接，形成阵列系统中的最小系统，再根据最小系统的数量，利用耦合梁相接，形成内共振多阵列系统；多阵列通过耦合梁进行连接具有不同的串并联方式；在高低频结构的位置关系上，一对具有整数倍频比的扭转或平动结构通过内共振的原理实现谐振，其中一个为高频扭转或平动结构，另一个为低频扭转或平动结构。而对于内共振多阵列系统中高频或低频的扭转或平动结构则具备多种不同的位置组成关系。通过将各个内共振阵列系统的敏感信号相叠加作为信号输出，有利于降低谐振结构的等效电阻并提高磁传感器灵敏度等。
专利内容
本发明公开一种阵列式内共振微机械结构及其微型磁传感器，通过内共振系统经阵列拓扑组成；在串并联拓扑关系上，一对扭转结构通过耦合梁相接，形成阵列系统中的最小系统，再根据最小系统的数量，利用耦合梁相接，形成内共振多阵列系统；多阵列通过耦合梁进行连接具有不同的串并联方式；在高低频结构的位置关系上，一对具有整数倍频比的扭转或平动结构通过内共振的原理实现谐振，其中一个为高频扭转或平动结构，另一个为低频扭转或平动结构。而对于内共振多阵列系统中高频或低频的扭转或平动结构则具备多种不同的位置组成关系。通过将各个内共振阵列系统的敏感信号相叠加作为信号输出，有利于降低谐振结构的等效电阻并提高磁传感器灵敏度等。G01R33/02(2006.01);G01R33/028(2006.01);G01R33/00(2006.01)
