静电微机电系统换能器、制造方法及电子设备

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114148985 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111314136.6 (22)申请日 2021.11.08 (71)申请人 歌尔微电子股份有限公司 地址 266101 山东省青岛市崂山区科苑纬 一路1号青岛国际创新园二期F楼 (72)发明人 邹泉波　 (74)专利代理机构 北京博雅睿泉专利代理事务 所(特殊普通合伙) 11442 代理人 柳岩 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) H04R 19/00 (2006.01) H04R 19/04 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图6页 (54)发明名称 静电微机电系统换能器、制造方法及电子设 备 (57)摘要 本公开公开了一种静电微机电系统换能器、 制造方法及电子设备。该静电微机电系统换能器 包括：第一电极；相对于第一电极能移动的第二 电极；以及位于第一电极和第二电极之间的电介 质层，其中，所述电介质层包括标准部分和泄漏 部分，所述标准部分的材料是标准电介质材料， 所述泄漏部分的材料是泄漏电介质材料。 A 5 8 9 8 4 1 4 1 1 N C CN 114148985 A 权　利　要　求