基于PEDOT:PSS界面的柔性透明神经电极及其制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117902550 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202410075350.8 (22)申请日 2024.01.18 (71)申请人 中国科学院半导体研究所 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35 号 (72)发明人 裴为华　袁苗　孙瑀阳　 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 专利代理师 李婉婉 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) A61N 1/04 (2006.01) 权利要求书3页 说明书8页 附图3页 (54)发明名称 基于PEDOT:PSS界面的柔性透明神经电极及 其制备方法 (57)摘要 本发明提供一种基于PEDOT:PSS界面的柔性 透明神经电极及其制备方法，可以应用于神经科 学领域。其特征在于以PEDOT ：PSS(聚(3，4‑乙烯 二氧噻吩) ：聚苯乙烯磺酸)作为记录和传输神经 电信号的功能材料，使用薄层绝缘聚合物作为 PEDOT ：PSS干法刻蚀的掩膜层，实现大面积 PEDOT：PSS的图形化，使用面向硅片的反向工艺， 实现无损化PEDOT:PSS柔性透明神经电极的大批 量制备。本发明提供的制备方法具有工艺简单、 易操作、可大批量实现等优点。同时，该基于 PEDOT:PSS界面的柔性透明神经电极分为主要界 A 面区、中间导线区和电极焊接区，主要界面区均